薄膜铌酸锂复杂波导的光刻工艺参数优化

摘要

近年来不断有新技术应用于光刻来提升光刻分辨率，由于研究和资金等方面的问题，其技术难度呈指数级增长，研究如何改进光刻工艺技术，寻找更优秀的工艺方法，已成为当前优化光刻图形、提升光刻最小分辨率的研究方向。提出了一种光刻参数优化方法，该方法通过定义最大允许时差的概念，来表征光刻工艺参数之间的相互关系。分别选用图案线宽为1.5、2.0、2.5μm的掩模版，用优化前后的光刻参数在SUSS MJB4光刻机下套刻。经过实验测试，用优化后光刻参数套刻得到的线条宽度窄于同样条件下未优化光刻参数套刻得到的线条宽度。

关键词

薄膜铌酸锂 / 光波导 / 光刻分辨率 / 光刻工艺 / 最大允许时差 / 优化设计