大口径椭球型单管X射线聚焦镜设计与仿真

摘要

针对同步辐射光源点到样品距离长的特点，设计了镀膜与非镀膜这2种大口径椭球型单管X射线聚焦镜，并利用带有面型误差模型的仿真程序模拟了这2种大口径椭球型单管X射线聚焦镜的聚焦性能.结果表明：镀Ir膜的大口径椭球型单管X射线聚焦镜的入口直径、焦斑尺寸、焦深分别为19.0 mm、7.1μm和0.2 mm，接收立体角约为未镀膜聚焦镜的3倍；未镀膜聚焦镜的入口直径和焦斑尺寸分别为15.0 mm和6.4μm，焦深为镀Ir膜聚焦镜的4倍.分析了大口径椭球型单管X射线聚焦镜的面型误差对其焦斑尺寸的影响，讨论了大口径椭球型单管X射线聚焦镜的应用前景.

关键词

大口径椭球型单管X射线聚焦镜 / 同步辐射X射线光源 / 面型误差