基于磁过滤阴极真空弧沉积技术制备AlCrTiZrMo非晶高熵合金薄膜及其性能研究

摘要

基于磁过滤阴极真空弧沉积技术研究了负偏压对AlCrTiZrMo非晶高熵合金薄膜的形貌、元素以及微观结构的影响，进而讨论了AlCrTiZrMo非晶高熵合金薄膜的成膜及结晶机制.通过SEM、EDS、XRD和TEM对薄膜的形貌与结构等性能进行测试分析，实验结果表明：不同沉积离子能量条件下，薄膜具有优异的表面品质；随着沉积离子能量的不断增加，薄膜厚度随之减小；同时，沉积离子能量对高熵晶相的调控有明显效果，沉积离子能量的增加使AlCrTiZrMo高熵合金薄膜微结构从非晶相（am）转变为相稳定的am+FCC纳米复合结构.

关键词

磁过滤阴极真空弧 / 非晶高熵合金薄膜 / 沉积离子能量