固态NaCl诱导的TiAlN多层涂层热腐蚀行为研究

摘要

采用高功率脉冲磁控溅射（HIPIMS）技术耦合多弧离子镀技术，在钛合金和304不锈钢基体表面沉积高致密TiAlN/Me多层纳米复合膜层，通过SEM、XRD、XPS等方法对涂层的宏微观结构进行表征，在500℃高温的固态盐膜环境下，研究不同金属子层种类对涂层高温热腐蚀能力的影响规律.结果表明：TiAlN/Ti多层涂层孔隙率低至0.049%，以点蚀为主要腐蚀形式的涂层热腐蚀面积占比为2.948%，分别达到304不锈钢和Ti-6Al-4V钛合金基体耐腐蚀能力的24.046和23.041倍. TiAlN/TiAl涂层由于涂层表面缺陷和层间缺陷分布广泛，涂层腐蚀面积占比达到67.090%.TiAlN/Ti比TiAlN/TiAl多层纳米复合膜层有更优的高温热腐蚀性能.

关键词

高功率脉冲磁控溅射 / 多弧离子镀 / TiAlN多层涂层 / 固态NaCl诱导的高温腐蚀