氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备ZrO₂薄膜特性的影响

摘要

ZrO₂薄膜具有高硬度、高耐磨性等优良特性，在诸多领域具有广泛的应用前景.高品质ZrO₂薄膜的制备一直是科学家们研究的一个重点和热点问题.本文利用磁过滤阴极真空弧（FCVA）技术，以金属Zr为阴极，在单晶硅（100）衬底上制备高品质ZrO₂薄膜，利用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、X射线电子能谱（XPS）和纳米力学探针对薄膜的结构、形貌、成分及其性能进行表征，研究了O₂流量对于ZrO₂薄膜的晶体结构、形貌、成分以及力学性能的影响规律，获得了结晶品质良好、表面平滑且硬度较高的ZrO₂薄膜.

关键词

ZrO₂薄膜 / 磁过滤阴极真空弧法 / O₂流量