镁合金表面制备金属和金属/陶瓷复合涂层的研究进展

摘要

利用磁控溅射技术制备金属/陶瓷复合薄膜可以改善零件的绝缘、耐蚀、耐磨等性能。本文综述了磁控溅射技术制备金属和金属/陶瓷复合薄膜的研究现状。简要地探讨了不同类型薄膜的耐腐蚀性和耐磨损性，重点分析了工艺参数以及过渡层对薄膜组织结构和耐蚀耐磨性能的影响。最后展望了未来磁控溅射技术制备金属/陶瓷复合薄膜的发展趋势。