基于半实物的场发射扫描电镜数字化实验设计

摘要

针对场发射扫描电镜实验教学难以有效开展的问题，在操作流程全过程模拟的基础上，设计算法实时模拟像散、聚焦、亮度等参数调节所引起的图像变化，并通过仿真控制台实现交互操作，提升学生电镜参数调节及图像获取方面的能力。方案对实验内容及操作方式两方面进行高保真模拟，为透射电镜等同类仪器实验教学提供了新的思路。

关键词

半实物仿真 / 数字化实验 / 扫描电镜 / 实验教学