凝胶注模成型ITO靶材坯体的开裂抑制研究

摘要

氧化铟锡(ITO)靶材是制备透明导电薄膜的关键材料，其成型质量直接影响最终性能。传统成型方法在制备高密度、大尺寸坯体时易出现裂纹、密度不均等问题。凝胶注模成型技术因具有高固含量浆料原位固化、坯体强度高、结构均匀等优势，适用于高性能ITO靶材的制备。然而，甲基丙烯酰胺(MAM)体系在干燥过程中易发生开裂。为此，本研究系统探讨了单体/交联剂配比、浆料固含量与凝胶化温度对坯体成型质量的影响。结果表明，当单体质量分数1%、单体/交联剂比例为20、固体质量分数为80%、凝胶化温度为55～65℃时，可获得结构均匀、无裂纹的ITO靶材坯体。本研究为高性能ITO靶材的凝胶注模成型提供了可靠的工艺优化方案。

关键词

胶态成型 / ITO靶材坯体 / 单体 / 交联剂