基于外部实物标准的激光跟踪仪基站标定原理及方法研究

摘要

设计了一种适用于激光跟踪仪基站标定的外部实物标准——基站标定仪。介绍了激光跟踪仪的基站标定原理;采用高精度三坐标测量机对基站标定仪重复定位精度进行测量，验证了其具有高精度重复定位的特点，验证了基站标定原理的可行性，可实现靶镜空间的精确定位;最后引入基站标定仪至数控机床定位误差测量实验，并与激光干涉仪测量结果进行对比，研究发现，两种测量原理误差值变化趋势基本一致，X轴定位误差测量最大偏差为1.8μm,Y轴定位误差测量最大偏差为2.3μm。结果表明，基站标定仪的标定原理是可行的，精度满足激光跟踪仪标定要求，测量结果与现有成熟设备一致性好，该方法为激光跟踪仪基站标定提供了一种新的思路。

关键词

基站标定 / 实物标准 / 误差测量 / 激光跟踪 / 数控机床

基金资助

国家自然科学基金(52105556); 陕西省教育厅服务地方专项(24JC007); 陕西省重点研发计划“三项改革”综合试点项目(2023GXLH-080); 陕西省秦创原“科学家+工程师”队伍建设项目(2024QCY-KXJ-006); 西咸新区科技计划重点研发计划(XJZZ-2023-009)