考虑换模操作的双臂组合设备终止暂态调度

摘要

自动化组合设备在单片晶圆加工技术的应用有效提升了晶圆的生产效率。为了进一步提高组合设备的利用率，本文在不违背晶圆驻留约束的前提下，考虑双臂组合设备在终止暂态中的晶圆加工与腔室换模并行操作的可行性调度。提出基于虚拟晶圆策略的终止暂态的新调度策略，建立新策略下终止暂态的Petri网模型，并提出避免死锁和控制系统运行的变迁触发条件。根据工艺要求和时间特性，考虑不同的调度情形对暂态中的等待时间进行再分配，并编写算法输出暂态中的换模时间和TR的活动序列。通过两个算例验证策略的可行性，实验结果表明，与现场先加工再换模的原加工过程相比，本调度方案在不影响设备终止暂态结束时间的前提下，可有效减少双臂组合设备的单产品晶圆批次切换时间，即最小化换模时间。

关键词

晶圆制造 / 双臂组合设备 / Petri网 / 掩膜版更换 / 终止暂态