工业温度补偿的周期测频压力传感器性能分析

摘要

工业温度补偿效果直接影响到检测质量和工业成本，为了进一步提高传感器控制精度，设计了一种具有工业温度补偿的周期测频压力传感器系统。选择双谐振结构传感器芯片，设置温度自补偿来获得更高线性度。以STM32f3单片机建立测频系统，有效减小时间传递误差。开展性能测试结果表明：此检测方式可以在25ms数据采集时间内，保持测量装置气压变化幅度不超过5Pa，满足该传感器实际试验条件。检测系统误差为±0.05Hz，是一种高效的压力传感器数据收集方法。该研究有助于提高工业温度监控能力，具有很大的实际价值。

关键词

传感器 / 周期测频 / 控制系统 / 性能测试