基于声发射的单晶材料微磨削特征信号感知分析

摘要

单晶材料的表面加工是制备半导体材料的关键，为了进一步提高加工材料表面质量评估能力，设计了一种基于声发射的单晶材料微磨削特征信号感知方法。开展实验测试信号分析，研究结果表明：微磨削作用下材料损失量表现为先上升后稳定状态变化趋势。增大磨削深度后，微磨具直径损失能量占比相关系数得到提高，微槽崩边能量占比相关系数降低。该研究可拓宽到其他的高端材料的机加工领域，具有很好的使用价值。

关键词

微磨削 / 非稳态特征 / 声发射 / 信号感知