面向创新人才培养的微电子工艺课程教学改革探索与实践

摘要

针对微电子工艺课程教学内容抽象难懂、与行业技术脱节、创新思维培养不足等问题，提出“循序渐进、前沿对接”的教学改革路径，即通过构建“基础-进阶-创新”的课程体系，动态融入产业前沿技术以更新教学内容，依托虚拟仿真平台强化学生实践能力，并引导学生以问题驱动项目为载体开展自主探索，从而提升其创新思维。通过本课程的学习，学生获得了扎实的理论基础与实践能力，并在全国大学生学科竞赛中斩获国家级奖项。该教改实践以梯度化、动态化、虚实融合为特色，有效实现了教学内容与产业技术的深度对接，解决了创新思维培养不足的问题，为集成电路领域创新人才培养提供了可推广的范式。

关键词

微电子工艺课程 / 教学改革 / 集成电路

基金资助

国家自然科学基金青年科学基金项目(22305216)