基于疏水聚合物的MEMS气体传感器抗湿方法

摘要

MEMS金属氧化物气体传感器具有响应快、灵敏度高、体积小、功耗低等优点，是气体检测的常用方法。然而，MEMS气体传感器的性能易受环境湿度的影响，为了改善气体传感器的抗湿度干扰能力，基于高透气性的疏水聚合物材料Teflon，采用浸涂工艺实现了MEMS气体传感器敏感层的疏水透气包覆。研究了Teflon改性前后的MEMS气体传感器在不同相对湿度环境下的氢气敏感特性。当环境湿度从10%RH增加到90%RH，未经处理的原始传感器对400μL/L氢气的响应值从53.07下降到29.51，下降了44.4%，而Teflon改性后的传感器的响应值从28.87下降到26.17，仅下降了9.4%，表明改性处理方法使传感器的抗湿性能得到了改善。

关键词

气体传感器 / 湿度 / 疏水性 / Teflon材料 / 氢气