氧化物半导体电阻型氢气传感器研究进展

杭忱, 马凤翔, 许争杰, 曹骏, 程伟, 徐霄筱, 陈英, 张国强

测试技术学报 ›› 2026, Vol. 40 ›› Issue (02) : 221 -229.

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氧化物半导体电阻型氢气传感器研究进展

    杭忱, 马凤翔, 许争杰, 曹骏, 程伟, 徐霄筱, 陈英, 张国强
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摘要

氢气传感器在氢能源、石油化工、气体管道输送等领域有着迫切需求,氧化物半导体电阻型氢气传感器是氢气传感器领域的重要研究方向。通过分析氧化物半导体氢气传感器普遍存在的工作温度高和气体选择性差的问题,从气敏机制、氧化物半导体成分设计、形貌设计、贵金属催化机制等角度综述了氧化物半导体型氢气传感器的研究进展,并分析了当前的研究挑战及未来发展方向,为氧化物半导体电阻型氢气传感器的进一步研究和应用提供了重要的视角和方向。

关键词

氢气传感器 / 氧化物半导体 / 氢敏机制 / 成分设计

Key words

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杭忱, 马凤翔, 许争杰, 曹骏, 程伟, 徐霄筱, 陈英, 张国强. 氧化物半导体电阻型氢气传感器研究进展[J]. 测试技术学报, 2026, 40(02): 221-229 DOI:

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