应用于MEMS热电堆红外探测器的超表面吸收体

摘要

随着红外技术的不断发展和应用需求的不断增加，MEMS热电堆红外探测器作为目前应用最广泛的红外探测器之一，其关键性能也需进一步提升。设计了一种可集成于MEMS热电堆热端吸收区的超表面吸收体，在8～12μm宽波段内，红外吸收率可达到75%。将结构单元进行2×3阵列后，可在140μs内使表面温度提升28 mK。该超表面吸收体整体厚度仅362 nm，不影响MEMS热电堆芯片悬浮支撑膜的机械性能，且制备工艺与MEMS热电堆兼容，可为实现与超表面结合的高性能MEMS热电堆芯片的大批量生产提供有力参考。

关键词

超表面 / 热电堆 / 红外探测器 / 红外吸收 / 有限元分析