基于FIB-SEM双束系统制备TEM原位加热样品

摘要

聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）双束系统因具有定位精准、加工精度高等优点，被广泛用于微纳尺度样品的高质量制备，如定点截面加工、纳米图形加工、透射电子显微镜（TEM）和三维原子探针样品等。然而，随着TEM原位表征技术的发展，对样品的制备提出了更高的要求。其中，TEM原位加热样品由于受加热芯片几何形状的限制，在样品的提取、转移和减薄等工序上具有较高的技术难度。利用FIB-SEM双束系统，在传统TEM样品制备工艺基础上，通过合理改进制备流程和参数，调整样品提取和减薄顺序，并配合低电压清扫工艺，成功制备了可用于原位加热和表征的TEM样品。

关键词

聚焦离子束-扫描电子显微镜双束系统 / 原位加热 / 低电压清扫 / 样品制备