基于FIB-SEM双束系统制备TEM原位加热样品

林晓冬; 梁雪; 李毅丰; 陈文霞; 鲁波; 李强

实验科学与技术 ›› 2024, Vol. 22 ›› Issue (05) : 1 -6+27.

林晓冬, 梁雪, 李毅丰, 陈文霞, 鲁波, 李强

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摘要

聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）双束系统因具有定位精准、加工精度高等优点，被广泛用于微纳尺度样品的高质量制备，如定点截面加工、纳米图形加工、透射电子显微镜（TEM）和三维原子探针样品等。然而，随着TEM原位表征技术的发展，对样品的制备提出了更高的要求。其中，TEM原位加热样品由于受加热芯片几何形状的限制，在样品的提取、转移和减薄等工序上具有较高的技术难度。利用FIB-SEM双束系统，在传统TEM样品制备工艺基础上，通过合理改进制备流程和参数，调整样品提取和减薄顺序，并配合低电压清扫工艺，成功制备了可用于原位加热和表征的TEM样品。