超薄非晶氧化物半导体薄膜的制备及光学带隙调控综合实验设计

摘要

为提升学生创新素养，通过将科研内容融入实验教学，设计了超薄非晶氧化物半导体薄膜的制备及光学带隙调控实验。采用磁控溅射的方法在石英衬底上制备非晶铟锡氧化物半导体薄膜，通过材料表征研究厚度对薄膜晶体结构、表面形貌和光学特性的影响。实验结果表明，薄膜厚度影响成膜的表面粗糙度，同时薄膜的光学带隙随膜厚增加而减小。该创新实验涵盖了材料制备、表征及机理分析，涉及半导体、材料学、光电子等多个学科领域，且结合实际科研内容，提高了学生的科研积极性，有助于培养学生创新思维，提高理论与实践相结合的能力。

关键词

光学带隙 / 铟锡氧化物薄膜 / 磁控溅射 / 实验设计

基金资助

国家自然科学基金（11574083,61904054）; 教育部产学合作协同育人项目（202102575009,220904090161130）; 河南省高等教育教学改革研究与实践重点项目（2021SJGLX165）; 华北水利水电大学教育教学改革研究与实践项目（2021070）