基于扫描电镜改造的电子束光刻系统在高校教学科研中的培训与维护

摘要

电子束光刻系统是高校半导体物理与器件方向教学和科研中不可或缺的仪器。该文在高校原有扫描电镜的基础上搭建电子束光刻系统，具有更低的成本和更多的操作空间。通过构建完备的培训体系，包括理论知识培训、分类实操培训、难点补充培训等，提高了仪器的使用效率和效果。仪器使用人员和管理人员协同做好仪器维护和保养工作，延长仪器的使用寿命。

关键词

高校 / 电子束光刻系统 / 培训与维护

基金资助

江苏省基础研究计划自然科学基金面上项目(BK20221238)