基于场效应管型气敏传感器的微电子工艺实验设计

摘要

现阶段我国集成电路产业人才短缺，培养具有创新实践能力的集成电路产业人才刻不容缓。微电子工艺是集成电路的基础，更是培养集成电路人才创新实践能力的重要实践课程。因此，设计了基于场效应管型气敏传感器的微电子工艺实验，采用微电子工艺方法制备硅基电极并利用水相法制备敏感材料SnO₂/ZnO得到场效应管型气敏传感器。采用X射线衍射对敏感层材料进行表征，并进一步对传感器的气敏性能进行测试。该实验涵盖了材料合成及表征、微电子工艺、器件制备、气敏特性测试等手段，涉及材料学、微电子及集成电路学科，并将科研内容与实验教学相结合，有助于激发学生的科研兴趣，进而培养学生的创新实践能力。

关键词

微电子工艺实验 / 场效应管型 / 气敏传感器 / 气敏性能

基金资助

国家自然科学基金面上项目（62074064）; 华中科技大学实验技术研究项目面上项目（校技改2023-16,2025-2-38）