精密隔振器直接扰动的前馈抑制研究

摘要

随着科技的快速发展，半导体制造等高精度领域对振动控制提出了更高要求.主动隔振器作为关键的振动控制技术，能够有效减小外部和内部振动对设备性能的影响.然而，现有控制方法在应对高精度隔振系统中的挑战时仍存在局限，特别是在处理由运动台引起的直接扰动时.本文提出了一种结合驱动力前馈与迭代学习控制的主动隔振新方案.通过对隔振平台的动力学建模，深入分析了运动台引起的直接扰动，并设计了基于驱动力前馈补偿与迭代学习控制的双重策略.前馈补偿通过精确预测并抑制运动台对隔振平台的部分扰动；迭代学习控制则通过多次迭代优化补偿策略，有效减小摩擦力等非线性扰动的影响，提升了系统的控制精度.实验结果表明，该方法显著提高了系统的隔振性能，尤其在摩擦力扰动抑制方面取得了优异的效果.

关键词

主动隔振器 / 直接扰动 / 驱动力补偿 / 迭代学习

基金资助

国家自然科学基金资助项目(62304045); 上海市扬帆计划资助项目(23YF1401600)