精密主动减振平台多陷波滤波器设计方法研究

摘要

随着先进半导体装备的精度不断提高，环境振动对精密装备的影响日益增大.主动隔振技术广泛应用于精密设备中，可对低频振动进行有效隔振.为了进一步提高隔振效果，主动隔振系统的控制带宽逐步提高，柔性模态对系统整体性能的限制随之逐渐体现.在工程上，通常采用二阶陷波滤波器抑制柔性模态引起的谐振峰.面对实际系统中多个柔性谐振峰叠加的现象，传统滤波器设计方式面临着参数复杂，耗时长，抑制效果不佳并且引起的相位损失大等问题.本文根据二阶陷波滤波器的幅频特性，采用简易的参数设计方式，设计简单耗时短.提出的陷波滤波器添加方式能够针对柔性谐振峰进行精准抑制的同时引起的相位损失更小，有利于实现较大的系统带宽，从而提升控制效果.

关键词

主动隔振 / 柔性谐振峰 / 陷波滤波器