薄膜样品的制作与均匀度测定

摘要

液滴法[1]是制作薄膜样品的最简单方法,本文介绍了使用该方法制作薄膜样品的具体步骤.由于样品在自然蒸发过程中具有结晶效应,使得最终形成的样品极不均匀.如果使用这种样品刻度系统的灵敏度曲线,样品的不均匀性会引起严重的实验误差.利用使用X光会聚透镜的XRF系统[2]形成的小束斑,可对样品的均匀度进行分析.另外文中给出了在使用此种样品刻度系统灵敏度曲线时,消除样品不均匀性引起误差的方法.

关键词

液滴法 / X光会聚透镜 / 均匀度 / XRF分析