XRF系统灵敏度曲线的标定

摘要

将整体会聚透镜0301组合到XRF分析系统,并使用最小焦斑为15的OXFORD高亮微聚焦X射线源作为光源．使用不锈钢合金、化合物、单元素3种薄膜标样标定了此XRF分析系统的灵敏度曲线,并对比了使用透镜和使用光阑两种情况下系统灵敏度曲线的不同．通过计算可知,X光透镜显著提高了系统的灵敏度,两种情况荧光产额数之比对于元素Ni最大,约为2 386;Se元素的比值最小,为575．

关键词

X光透镜 / 薄膜XRF分析 / 灵敏度