基于LPP特征空间重构的故障检测策略

摘要

针对多模态工业过程数据中存在方差差异显著的问题，提出了一种基于LPP特征空间重构的故障检测策略.首先，采用局部保持投影对过程数据进行降维处理，去除数据的冗余信息和噪声，降低计算复杂度；其次，将变分高斯混合模型应用于过程数据，确定操作模式的数量，并对每种模式下的数据进行聚类；再次，将每种模式下的数据利用所属模式的信息进行标准化处理，去除数据的多模态特征；最后，使用统计量T²对过程进行监控.通过一个多模态数值例子和半导体蚀刻过程验证了所提方法的有效性.

关键词

多模态故障检测 / 局部保持投影 / 变分高斯混合模型 / 标准化 / 半导体蚀刻过程

基金资助

国家自然科学基金资助项目(61490701,61673279); 辽宁省自然科学基金项目(2019-MS-262); 辽宁省教育厅基金项目(LJ2019013)