含磷化氢废气处理工艺设计

摘要

介绍含磷化氢废气的排放标准，简述含磷化氢废气处理及综合利用技术，并分析其优缺点。提供了一种焚烧炉+一级水洗+二级化学洗涤处理磷化氢废气流程，介绍主要设备及其规格型号，以及工程设计特点。该方法磷化氢去除效率99.998%，磷化氢排放质量浓度0.15 mg/m³，排放速率0.975 g/h，低于DB 31/933—2015中排放限值。

关键词

含磷化氢废气 / 处理 / 焚烧 / 洗涤