正硅酸甲酯制备的研究进展

摘要

国家对集成电路行业的投入引来电子级化学品的快速发展。正硅酸甲酯（TMOS）广泛应用于化工、光学玻璃、电子电气等诸多领域。介绍工业级与电子级TMOS的质量，概述工业级和电子级TMOS制备工艺研究进展，以期为电子级TMOS的制备工艺提供技术思路。

关键词

正硅酸甲酯 / 工业级 / 电子级 / 提纯