氢氟酸精馏塔填料材料的选择

杨晓健, 杨帆, 胡国涛, 何汪致远, 陈广鹏, 李白玉, 柳陈军, 范丽婷, 苏文湫

生态产业科学与磷氟工程 ›› 2025, Vol. 40 ›› Issue (09) : 63 -67.

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氢氟酸精馏塔填料材料的选择

    杨晓健, 杨帆, 胡国涛, 何汪致远, 陈广鹏, 李白玉, 柳陈军, 范丽婷, 苏文湫
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摘要

电子级氢氟酸精馏塔填料的性能直接决定产品纯度与设备寿命。通过质量分数49%的氢氟酸的腐蚀实验、浸润性测试,以及可加工性、耐温、机械强度分析,系统评估聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷氧基树脂(PFA)、聚四氟乙烯与碳纤维复合材料、碳化硅(SiC)6类材料的性能。结果表明:PFA杂质析出<18μg/L,接触角108°,综合性能最优,但成本高昂;碳化硅接触角42°,具备强亲水性与耐蚀性,耐温性好,机械强度高,但由于加工难度大,工业化应用受限;PP、PE因金属析出超标不适用,PTFE与碳纤维的复合材料耐蚀性差。未来需通过PFA注塑工艺优化与SiC蜂窝结构设计突破成本与加工壁垒,满足半导体级HF精馏需求。

关键词

氢氟酸 / 精馏填料 / 杂质析出 / 加工特性 / 接触角

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氢氟酸精馏塔填料材料的选择[J]. 生态产业科学与磷氟工程, 2025, 40(09): 63-67 DOI:

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