声表面波滤波器的有限元模拟

摘要

声表面波滤波器（Surface Acoustic Wave Filter, SAWF）（简称SAW滤波器）是现代通信系统中的一类重要电子元器件.在SAW滤波器的设计和优化中，数值模拟是基本手段之一.为了对SAW滤波器进行高精度数值模拟，本文提出了一种有限元模拟方法 .本文建立了SAW滤波器的数学模型，为模型应用周期边界条件，并添加完美匹配层（Perfect Matching Layer, PML），然后再用有限元法得到模型的解.作为例子，本文对典型压电材料为基底的3维SAW滤波器进行了数值模拟，分别给出其简化模型及y方向全结构模型.计算结果表明，相比业界常用的商业软件，本方法同样正确有效.

关键词

SAW滤波器 / 有限元法 / 完美匹配层 / 数值模拟