±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计

虎勇; 李绍荣; 郭威; 蒋婷; 郭小伟; 邹力; 任颖慧; 梁杰

电子科技大学学报 ›› 2023, Vol. 52 ›› Issue (03) : 444 -450.

虎勇, 李绍荣, 郭威, 蒋婷, 郭小伟, 邹力, 任颖慧, 梁杰

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摘要

微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大，影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速度计结构，通过对所设计的结构进行静力学分析和模态分析，保证加速度计良好的抗过载能力。仿真结果表明，该结构实现了模态分离避免了模态干扰，且交叉灵敏度均小于0.3%，有效地降低了交叉串扰。