±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计

摘要

微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大，影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速度计结构，通过对所设计的结构进行静力学分析和模态分析，保证加速度计良好的抗过载能力。仿真结果表明，该结构实现了模态分离避免了模态干扰，且交叉灵敏度均小于0.3%，有效地降低了交叉串扰。

关键词

电容式加速度计 / 高精度 / MEMS / 三质量块