微机电硅谐振器动态建模及同步控制

摘要

由于微机电(MEM)硅谐振器高能量输出下的周期性振荡、分岔、混沌等非线性因素，使其振荡频率控制精度有限。针对双端固支梁微机电硅谐振器，提出了一种输出反馈同步控制方法，通过振荡器同步以提高其振荡频率控制性能。首先，对双端固支梁MEM硅谐振器系统结构及非线特性进行了分析，并建立了充分考虑系统非线性特性的动态模型；在此基础上，设计了基于同步误差的输出反馈同步控制器，实现了多MEM硅谐振器同步控制，并使得相应的同步误差渐近收敛到零。最后，通过仿真实验证明了所提出方法的有效性。

关键词

动态模型 / 微机电 / 同步控制 / 双端固支梁MEM硅谐振器

基金资助

四川省科技计划资助项目(2020YFH0027)