紫外传感贴片的叉指结构仿真优化

摘要

利用COMSOL Multiphysics仿真软件建立了含叉指电极结构的紫外传感贴片三维模型，并对其进行了相关电特性研究。为降低传感器初始电阻，便于后端电路的测量开发，利用控制变量法，基于叉指指宽、间距、厚度等结构参数设置了多个不同的仿真模型。在AC/DC模块下的电流物理场接口下，选择稳态研究，结果表明，不同的结构参数将对电极和传感器的电场分布和初始电阻产生影响。通过对比分析发现，叉指电极的指宽为0.6 mm，间距为0.4 mm，厚度为5μm时，初始电阻最小。此外，还设计了新型环状叉指电极结构，初步探究了其相关电学特性。研究发现该结构的初始电阻值与优化后的矩形叉指处于同一量级，对相关实验实践具有很好的指导意义。

关键词

COMSOL / 电极结构 / 叉指电极 / 初始电阻 / 紫外传感器

基金资助

国家重点研发计划(2018YFE0115500); 国家自然科学基金青年基金(51902037); 重庆市教育委员会科学技术研究项目(KJQN201900615)