ZnO纳米结构薄膜的构建及气敏传感性能研究

张海; 邓浩国; 闫琳; 李铭; 刘全龙

doi:10.13785/j.cnki.nmggydxxbzrkxb.2024.02.001

内蒙古工业大学学报（自然科学版） ›› 2024, Vol. 43 ›› Issue (02) : 97 -105. DOI: 10.13785/j.cnki.nmggydxxbzrkxb.2024.02.001

ZnO纳米结构薄膜的构建及气敏传感性能研究

张海, 邓浩国, 闫琳, 李铭, 刘全龙

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摘要

针对ZnO气敏传感器灵敏度较低和响应恢复时间长的问题，采用磁控溅射法，通过调控生长条件，构建了具有纳米结构的ZnO薄膜，研究了不同生长条件下ZnO纳米结构薄膜的形貌、结晶取向及其气敏传感性能。结果表明：高生长速度和高温条件下容易生长为柱状晶体且具有(103)晶面择优取向结构的薄膜，其对乙醇的灵敏度较好，达到81.7。