基于MCGS和MATLAB的薄膜厚度控制系统仿真

doi:10.16088/j.issn.1001-6600.2010.02.032

广西师范大学学报（自然科学版） ›› 2010, Vol. 28 ›› Issue (02) : 18 -21. DOI: 10.16088/j.issn.1001-6600.2010.02.032

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摘要

以MCGS组态软件和MATLAB为平台,设计和仿真了一个薄膜厚度控制系统。MCGS完成硬件接口的设置、数据的实时采集、人机对话、以动画的方式显示控制系统的运行情况,MATLAB完成PID参数的自动整定,并利用动态数据交换(DDE)技术建立两者间的通讯。仿真结果表明,本控制系统超调量小、响应速度快、自适应能力强,而且操作方便、显示直观,具有较大的应用价值。