辉光放电质谱仪真空泵碳化硅逆变器设计

摘要

针对辉光放电质谱仪真空机械泵电机逆变器工作周期较长，可靠性和稳定性要求高的特点，设计一套三相全SiC MOSFET的逆变器。首先介绍控制电路和功率电路的设计思路，然后详细介绍驱动和保护电路工作原理，并对直通短路保护电路进行优化设计，使用复杂可编程逻辑控制器（complex programmable logic controller,CPLD）代替各种逻辑芯片，降低电路复杂度，最后经过实验验证，逆变器运行良好，可以在2.4μs完成过流保护、在0.4μs完成半桥直通短路保护，可靠性高，为SiC MOSFET变流器设计应用提供一定的参考价值。

关键词

碳化硅MOSFET / 逆变器 / 过流保护 / 直通短路保护