基于超快激光定域去除的Cu/Ag复合金属网格透明电极性能优化研究

摘要

[目的]Ag网格透明电极方块电阻低，但反射率高。[方法]在钠钙玻璃基底表面利用等离子射频磁控溅射沉积Cu/Ag复合金属薄膜，然后采用飞秒脉冲激光定域去除金属层，获得Cu/Ag复合金属网格透明电极。分析了激光能量密度、激光扫描速率和激光扫描线重叠率对电极材料去除的影响机制。[结果]在激光能量密度1.4 J/cm²、激光扫描速率300 mm/s和激光扫描线重叠率70%的工艺参数下获得了综合光电性能最为出色的Cu/Ag复合金属网格透明电极，其平均透光率为87.58%，方块电阻为2.15Ω，品质因子为1.235×10^-1Ω^-1。[结论]该电极的综合性能与传统商用ITO（掺锡氧化铟）透明电极相比有巨大提升。

关键词

金属网格 / 超快激光 / 定域去除 / 透明电极 / 光电性能