过氧化氢-硫酸体系铜箔微蚀工艺及其稳定剂筛选

摘要

[目的]过氧化氢-硫酸体系用于PCB(印制线路板)微蚀时存在过氧化氢易分解和微蚀速率过高的问题，研发适宜的稳定剂具有重要的意义。[方法]采用由过氧化氢、硫酸和铜离子组成的溶液对铜箔进行微蚀。先通过研究温度和各组分质量浓度对微蚀速率的影响以确定微蚀液的基础成分，然后设计了一系列不同组合的复配稳定剂，以获得适用于不同工艺需求的微蚀液。[结果]较佳的微蚀基础配方和工艺条件为：浓硫酸140 g/L，双氧水110 g/L，铜离子25 g/L，温度30℃，时间1 min。可选择以四羟丙基乙二胺(EDTP)和乙二胺四乙酸二钠(EDTA-2Na)为主成分，并适当添加磷酸二氢铵(DAP)、N-甲基二乙醇胺(DMEA)、2-氨基-2-甲基-1-丙醇(AMP)、三乙醇胺(TEA)、2-甲基咪唑(2-MI)和1,6-乙二醇(HDO)中的一种或多种作为辅助成分的复配稳定剂。[结论]本研究所得铜箔微蚀工艺具有微蚀速率及铜箔表面粗糙度、形貌可控的优点，能够满足不同的生产需求。

关键词

印制线路板 / 铜箔 / 微蚀 / 过氧化氢 / 硫酸 / 稳定剂