316L不锈钢磁控溅射镀玫瑰金膜层及其耐磨性

孙子文; 袁军平; 潘成强; 赵雪阳; 陈德东; 张劭烽

doi:10.19289/j.1004-227x.2025.01.012

电镀与涂饰 ›› 2025, Vol. 44 ›› Issue (01) : 74 -80. DOI: 10.19289/j.1004-227x.2025.01.012

316L不锈钢磁控溅射镀玫瑰金膜层及其耐磨性

孙子文, 袁军平, 潘成强, 赵雪阳, 陈德东, 张劭烽

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摘要

[目的]研究磁控溅射镀玫瑰金膜层的组成及耐磨性。[方法]以316L不锈钢为基材，采用磁控溅射技术在不同靶电流下制备玫瑰金膜层。通过扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）和X射线光电子能谱仪（XPS）研究了膜层的表面形貌和组织结构，通过纳米压痕测试和摩擦磨损试验考察了膜层的显微硬度和耐磨性。[结果]随着靶电流从0.5 A增大到1.5 A，玫瑰金膜层的晶粒不断增大，显微硬度减小，耐磨性变差。不同靶电流下所得玫瑰金膜层均由Au⁰、Cu⁰和Au₃Cu构成，并且以Au₃Cu相的（111）和（222）晶面为主。[结论]本研究可为不锈钢表面磁控溅射镀玫瑰金工艺的实际应用提供参考。