数字微镜阵列微立体光刻系统光路仿真与应用

武传祥; 蔡树向; 杨文广

doi:10.13951/j.cnki.37-1213/n.210503

烟台大学学报（自然科学与工程版） ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (3) : 351 -356. DOI: 10.13951/j.cnki.37-1213/n.210503

数字微镜阵列微立体光刻系统光路仿真与应用

武传祥, 蔡树向, 杨文广

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摘要

提出了一种基于数字微镜阵列的微立体光刻系统，并在COMSOL Multiphysics软件中进行了系统光路的建模与仿真。在分析微立体光刻系统的技术原理与组成元件基础上，建立了微立体光刻系统的完整光路仿真模型。最后，搭建了一套基于数字微镜阵列的微立体光刻系统，实现了水凝胶的个性化定制加工以及批量动态制造。