投影曝光系统水凝胶齿轮结构制造及其动力学仿真

烟台大学学报（自然科学与工程版） ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (4) : 494 -498. DOI: 10.13951/j.cnki.37-1213/n.210510

褚洪汇, 杨文广, 王震

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搭建一套基于投影曝光的微立体光刻系统，成功制备了聚乙二醇丙烯酸酯(PEGDA)水凝胶材料的齿轮微结构。在分析材料特性及微结构流体动力学原理的基础上，利用COMSOL Multiphysics软件进行了水凝胶微齿轮的建模与仿真，验证水凝胶材料的可打印性和结构稳定性，完成水凝胶的个性图案化定制加工。

水凝胶 / 投影曝光 / 微纳操纵 / 动力学

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褚洪汇, 杨文广, 王震. 投影曝光系统水凝胶齿轮结构制造及其动力学仿真[J]. 烟台大学学报（自然科学与工程版）, 2022, 35(4): 494-498 DOI:10.13951/j.cnki.37-1213/n.210510

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国家自然科学基金资助项目(61803323); 山东省自然科学基金资助项目(ZR2019BF049)

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