ICP与射频源的匹配网络的设计与实现

张浩; 蔡树向; 刘强; 杨文广

doi:10.13951/j.cnki.37-1213/n.220622

烟台大学学报（自然科学与工程版） ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (3) : 313 -319. DOI: 10.13951/j.cnki.37-1213/n.220622

ICP与射频源的匹配网络的设计与实现

张浩, 蔡树向, 刘强, 杨文广

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摘要

通过对比不同负载阻抗时L型网络的调节方法，并推导匹配网络的电抗公式，确定先串后并和先并后串L型网络的使用条件。又通过在Advanced Design System软件中进行阻抗匹配的仿真，利用可变电容变化对负载阻抗的影响设计出结构简单的自动阻抗匹配电路。相较于传统结构，此自动阻抗匹配电路经济便捷，实现了负载阻抗不断变化时负载阻抗和源端阻抗的快速匹配。