基于MASS离子传输系统的仿真研究

郭金泉; 蔡树向; 高浩; 李飞; 杨文广

doi:10.13951/j.cnki.37-1213/n.230804

烟台大学学报（自然科学与工程版） ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (1) : 118 -124. DOI: 10.13951/j.cnki.37-1213/n.230804

基于MASS离子传输系统的仿真研究

郭金泉, 蔡树向, 高浩, 李飞, 杨文广

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摘要

对电感耦合等离子体传输过程中的多项指标进行分析，对比不同离子透镜的设计方法，从而确定离子传输系统的通路设计。在COMSOL Mutiphysics软件中对传输过程进行仿真，利用显示的离子路径以及传输效率、离子动能等多项指标对传输系统各部件进行位置以及机械尺寸的调整。相对于传统方式，此传输系统离子损耗较低且背景噪音小，实现了离子在传输过程中的90°偏转。