大长径比微圆柱阵列工具电极的制备

摘要

针对大长径比微圆柱阵列电极制备难度大、工艺复杂等问题，基于微正四棱柱电极电蚀致截面变圆形的特殊现象，提出一种多次迭代加工新工艺方法，以高质、高效制备大长径比微圆柱阵列电极.通过实验验证了该方法的可行性，并对比了不同电极材料（铜、铜钨合金）对加工性能的影响.结果表明，与铜钨合金相比，铜材料电极迭代制备微圆柱阵列电极所需的迭代次数更少.制备出的铜和铜钨合金6×6微圆柱阵列电极的长径比分别为6.08,8.81，加工得到的阵列圆孔直径标准差分别为8.48,8.18μm.

关键词

微圆柱 / 微棱柱 / 阵列电极 / 阵列圆孔 / 电火花加工