大深宽比薄壁复杂微结构微铣削毛刺抑制策略

doi:10.15938/j.jhust.2026.02.002

哈尔滨理工大学学报 ›› 2026, Vol. 31 ›› Issue (02) : 20 -33. DOI: 10.15938/j.jhust.2026.02.002

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摘要

针对电真空放大器核心元件大深宽比薄壁复杂金属微结构的微铣削加工毛刺缺陷问题，首先对其基体材料弥散无氧铜进行有限元切削仿真，研究了该材料毛刺的生成机制。其次通过微槽切削正交实验探究了切削用量对弥散无氧铜微铣削毛刺尺寸的影响规律，得到了毛刺尺寸最小化的切削参数集。再次结合目标微结构中电子束通道与折叠波导相关的几何特征进行区域化走刀轨迹设计，实现了微结构特定区域毛刺的抑制去除。最后采用聚甲基丙烯酸甲酯辅助支撑材料填充与刀具轨迹规划，进一步抑制了毛刺缺陷，实现了目标微结构的高质量稳定制备。