基于平行光束倾斜入射狭缝的反射衍射测量法理论推导与实验研究

摘要

为解决当前反射衍射测量技术中斜入射条件下的精确解析描述缺失问题，本文基于瑞利-索末菲衍射积分公式，理论推导了平行光斜入射单缝时接收面光强分布的解析表达式，并通过数值模拟与实验的方法验证了其准确性.研究发现：衍射条纹在中心零级两侧呈现不对称分布，且不对称性随入射角增大而显著增强，基于解析模型的缝宽推导结果与实验标称值比较吻合.本文建立了缝宽与系统参数的定量关系，完善了斜入射夫琅禾费衍射的理论框架，为非接触式无损检测中反射衍射测量技术的应用提供了可靠的理论依据.

关键词

反射衍射法 / 解析描述 / 单缝衍射测量 / 夫琅禾费衍射