基于硅基微环谐振器的平顶光学滤波器研究

宫原野; 陈晨; 伍旺旺; 王子豪; 余良; 丁当; 林永安

doi:10.19770/j.cnki.issn.1008-2565.2025.03.009

北京石油化工学院学报 ›› 2025, Vol. 33 ›› Issue (3) : 54 -59. DOI: 10.19770/j.cnki.issn.1008-2565.2025.03.009

基于硅基微环谐振器的平顶光学滤波器研究

宫原野, 陈晨, 伍旺旺, 王子豪, 余良, 丁当, 林永安

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摘要

基于硅基微环谐振器设计了一种平顶光学滤波器，该滤波器由微环谐振器级联对称耦合马赫-曾德尔干涉仪构成，采用信号流图法(SFG)建立器件模型及推导输出端的传递函数。仿真结果表明：设置微环谐振器周长为60μm,端口耦合系数为0.7,微环谐振器间耦合系数为0.01,微环谐振器与MZI间耦合系数为0.23,在滤波器输出端具有“矩形状”的输出光谱。与传统的马赫-曾德尔干涉仪余弦型输出光谱相比，滤波器顶部的平坦性有了很大的提高。与MZI-RA型光学滤波器相比，滤波器在3 dB带宽、消光比、精细度的性能参数上有了显著提高。