激光加工技术在光学元件制造中的进展与挑战

摘要

针对光学元件制造中精度与功能化需求日益提高的现状，本文首先详细探讨了激光加工技术的基本原理，分析了其在光学元件制造中的显著优势。然后对技术的萌芽阶段、发展阶段和突破阶段的研究进展进行了系统梳理，涵盖了激光微纳制造、激光烧蚀、飞秒激光以及激光诱导等离子体沉积与反应沉积等方面的技术。最后探讨了当前技术面临的热影响区最小化、高反射率材料加工难度等挑战，并展望了未来在新材料和新工艺开发中的发展趋势。

关键词

激光微纳制造 / 飞秒激光技术 / 光学元件精密加工