基于信息技术的多光束干涉测量误差数据融合与校正研究

摘要

针对多光束干涉测量中因多次反射叠加导致误差来源复杂、测量结果偏移的问题，本文提出了一种基于信息技术的误差数据融合与校正方法。该方法对不同反射阶次形成的干涉数据进行数字化组织与结构化处理，在统一数据框架下完成多源误差信息融合，并结合测量模型构建误差描述函数，引入迭代更新与数值约束机制，对融合结果实施误差校正。以不同厚度的碳化硅外延层样品为测试对象，对比分析融合前、后及校正后的测量结果。结果表明：校正后测量结果相对标准厚度的偏差显著减小，误差分布趋于集中，测量稳定性得到有效改善。

关键词

多光束干涉测量 / 误差数据融合 / 信息技术 / 数值校正