数字孪生在半导体测试设备中的应用研究

徐永刚; 王珏; 刘冲

doi:10.16009/j.issn.1009-5624.2026.14.020

信息记录材料 ›› 2026, Vol. 27 ›› Issue (14) : 62 -64. DOI: 10.16009/j.issn.1009-5624.2026.14.020

数字孪生在半导体测试设备中的应用研究

徐永刚, 王珏, 刘冲

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摘要

针对半导体测试设备调试周期长、运行监控不精准、性能优化难度大等核心问题，本文先搭建由数据采集传输、高保真建模、实时映射协同及模型迭代优化构成的核心技术体系，明确各技术的实现步骤与适配要点；再基于该体系，系统研究数字孪生技术在设备调试、运行监控与性能优化等场景的具体应用路径。结果表明，所提方法能够有效提升调试效率、实现运行状态精准监控与预警，并在提升测试精度与设备产能的同时降低能耗，为半导体测试设备向精准化、高效化、节能化升级提供了可靠的技术支持。