基于尺度自适应细胞分裂的芯片表面缺陷检测

宋朋, 费胜巍

doi:10.19886/j.cnki.dhdz.2023.0248

东华大学学报（自然科学版） ›› 2024, Vol. 50 ›› Issue (06) : 126 -132. DOI: 10.19886/j.cnki.dhdz.2023.0248

基于尺度自适应细胞分裂的芯片表面缺陷检测

宋朋, 费胜巍

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摘要

针对表面缺陷检测复杂烦琐的特征提取过程和基于人工免疫理论的细胞分裂过程产生无用空细胞，影响数据分类的问题，提出一种基于尺度自适应细胞分裂的芯片表面缺陷检测方法。基于VGG19预训练模型对芯片表面缺陷进行特征提取，采用尺度自适应细胞分裂分类方法(SA-CDCM)对芯片进行表面缺陷检测。SA-CDCM算法分裂过程无空细胞产生，实现了细胞分裂尺度自适应，能够以较少的检测器进行缺陷检测。在MPU6050芯片表面缺陷检测试验中，对比针对数据分类的克隆选择算法和否定选择算法。结果表明，同等条件下SA-CDCM实现了100%的缺陷检测准确率，能够对MPU6050芯片进行有效缺陷检测。